本文主要是 蚀刻是什么原理呢? 相关的知识问答,如果你也了解,请帮忙补充。
蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量(Weight Reduction)仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工;经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。通常所指蚀刻也称光化学蚀刻(photochemical etching),指通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。
参考知识1电解蚀刻实际就是电解某种金属材料,如电解铜、铁等。具体做法是将要蚀刻的制件做阳极,用耐蚀金属材料做辅助阴极。将阳极连接电源的正极,辅助阴极连接电源的负极。当电流通过电极和电解质溶液时,在电极的表面及电解质溶液中发生电化学反应,利用这种反应将要溶解去除的部分金属去除,达到金属腐蚀的目的。根据法拉第定律,电流的通过量与金属的溶解量成正比,也就是被蚀刻的金属越多,消耗的电量就越大。根据电化学原理,电解蚀刻装置的电源接通后,在阳极上发生氧化反应、在辅助阴极上发生还原反应。阳极反应的结果是蚀刻部位的金属被氧化变成水合离子或络合离子进入电解质溶液。因此,蚀刻部位的金属不断地溶解并在金属的表面留下当量电子,其反应式
如下:式中M-蚀刻金属的原子;
ne—溶解金属留下的当量电子数;
M+ne—失去ne个电子的金属离子,未水合化;
M+ne.xH20—进入电解液的金属水合离子。
阴极上的反应是电解溶液中的还原性物质如氢离子、氧分子或金属正离子等在阴极上得到电子,还原成氢气析出或生成氢氧根负离子或金属沉积物附着在阴极上,因此阴极反应是各种还原反应的结果。其电极反应如下:2H++2e→H2↑2H20+02+4e→40H-M+ne+ne→M↓
从上可以看到,电解蚀刻主要是利用电流加快蚀刻部位金属的溶解,而不是化学蚀刻那样要加入各种添加剂,特别是催速剂。在某种条件下还可能一面将蚀刻的金属溶解,另一方面又能将溶解的金属在阴极上沉积而回收。从示意图6—7上可以看到电解蚀刻需要有专用的电解设备、电源系统及配电设施,在实际操作时,还要有挂具和装卸作业等。
参考知识B在不锈钢板上面均匀的图上一层耐腐蚀的感光油墨,再在上面放上一张菲林底片,用紫外光进行曝光,之后菲林底片上的透明部分被紫外光穿过后会和感光油墨起化学反应,形成抗弱碱性的涂层,在菲林底片黑色部分的下面的感光油墨则不耐弱碱。除去菲林底片,把不锈钢板泡在弱碱性的碳酸钠溶液中,不耐弱碱部分的凃层就会与碳酸钠溶液起化学反应而脱落,这些地方的金属就裸露出来了,不锈钢板上就会呈现出图案。在它的反面贴上一层防腐保护膜,把它放入蚀刻机里,用三氯化铁溶液冲刷暴露着的不锈钢板表面,三氯化铁溶液中的三价铁离子会快速氧化、蚀刻这部分不锈钢板,我们用微距拍摄可以清晰地看到,局部的不锈钢板被蚀刻下去了。