PECVD上 射频发生器（RF电源）工作原理，匹配器与之怎么匹配的，原理是什么 谢谢了

2023-01-06

本文主要是 PECVD上 射频发生器（RF电源）工作原理，匹配器与之怎么匹配的，原理是啥 谢谢了 相关的知识问答，如果你也了解，请帮忙补充。

匹配器是根据用户负载的变化而调节自己的参数（电感与电容）达到阻抗匹配的目的，以减少反射的目的！
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这个行业从业的人员好少，平时都没什么交流的地方，遇到问题都没人参与讨论，小弟邀请要射频电源和匹配器行业精英加入一起探讨射频电源和匹配器开发与应用。 参考知识1 电感和电容的调节，加上软件的算法，一起实现匹配。
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