气体质量流量计/控制器的工作原理？

2023-01-09

本文主要是 气体质量流量计/控制器的工作原理？ 相关的知识问答，如果你也了解，请帮忙补充。

质量流量控制器（MFC）由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
望采纳 参考知识1 由强到弱依次为：高氯酸，氢碘酸，硫酸，氢溴酸，盐酸，硝酸，碘酸（以上为强酸，了解即可，大学涉及强弱排序），草酸（乙二酸），亚硫酸，磷酸，丙酮酸，亚硝酸（以上五种为中强酸），柠檬酸，氢氟酸，苹果酸，葡萄糖酸，甲酸，乳酸，苯甲酸，丙烯酸，乙酸，丙酸，硬脂酸，碳酸，苯酚(也叫石炭酸)，氢硫酸，次氯酸，硼酸，硅酸（其余为弱酸或极弱酸）！