瓷砖镀金机镀膜真空怎么调？

2023-02-09

本文主要是 瓷砖镀金机镀膜真空怎么调？ 相关的知识问答，如果你也了解，请帮忙补充。

镀膜机操作步骤

1、打开冷却水开关、空压机开关（空压机红色按钮向上拔为打开，向下按为关闭）和镀膜机总电源开关。

2、将玻璃基板至于样品托中，导电一面向下，刻蚀带一侧靠近样品托蓝色线条一侧。

3、预处理室放气，待放好气后拧紧放气阀，打开预处理室仓门，将样品托放在推拉杆上，关闭仓门。

4、打开机械A、机械B泵及四个真空计。

5、基片预处理：打开角阀，当预处理室真空度达到2.0E1 ～5.0E1 (2.0×10～5.0×10)Pa时，关闭角阀、打开真空蒸镀室角阀。打开直流溅射电源、再按下启动按钮，调节电流0.020-0.025A，轰击10分钟，将电流调节至0A，按下停止按钮，关闭电源。

6、打开A泵，角阀，待度达4.0E0以下时，即当两边真空气压基本相当的的时候（约十分钟），关闭角阀，A阀，打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向开，逆时针方向关），检查旋转台下的挡板，一定要将挡板放在恰当位置。样品传送至蒸镀室，用机械手抓取样品托，并保持在机械手上；然后将推拉杆拉回至预处理中，关闭闸板阀；降低蒸镀台与机械手平齐，将样品托轻轻推入蒸镀台下方的样品托导引槽（上方导引槽）。

7、当蒸镀室真空度达到1.2E1（1.2×10） Pa以下时，关闭角阀、机械A泵。打开闸板阀，将蒸镀室抽高真空至7.0E-4Pa（约2个小时）。

8、插入掩模板：将样品升降电源调到手动，将蒸镀台旋转180度（用皮带精确定位），用升降盒使蒸镀台最下方的掩模板导引槽与掩膜版库轨道，至于同一水平线上，用机械手将掩膜版轻轻推至蒸镀台的掩模板导引槽。（注意机械手用完一定要挂起）

9、蒸镀过程：打开快门总开关，膜厚测试仪（F1是清零，F5是开始或停止）放样品托的架子升最高，且旋转。打开PID（束源炉）开关，调节温度，依次蒸镀相关材料，制备OLED器件。

10、若继续实验，打开机械A泵、预处理室角阀，至预处理室真空度达到4.0E0（4.0×1） Pa以下，同时将掩膜版归位，用机械手将样品托取下。打开闸板阀，将推拉杆推至蒸镀室中，将样品托放到推拉杆上，抽回至预处理室，关闭闸板阀,将预处理室放气至大气压，将样品托取出，真空室保持在高真空条件下。

11、若不再实验，则关闭闸板阀，放气（真空室顶部放气按钮）。打开真空室，取出样品。打开快门控制电源，打开快门1，更换钨丝（每做一次实验更换一次），将铝丝挂在钨丝上（5个，挂于弯折处），检查蒸镀所需材料。关闭真空室，待分子泵数字为零时关闭分子泵后关闭机械泵B。打开机械泵A，真空室角阀，对真空室抽低真空至12Pa以下，关闭角阀，机械泵A，关闭电源。

如果长时间不用时一定要关闭循环水冰柜电源，以防冻裂。 参考知识1 一、电控柜的操作

1、玻璃真空镀膜机开水泵、气源

2、开总电源

3、开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。

4、开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。

5、观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。

二、DEF-6B电子枪电源柜的操作

1、总电源

2、真空镀膜设备同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：汽车玻璃镀膜按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。

3、开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。

三、关机顺序

1、关高真空表头、关分子泵。

2、待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。

3、到50以下时，再关维持泵。 　

镀膜机常见故障及处理方法

检测不到掩膜夹具翻转信号：

1、检查翻面信号源位置

2、将翻面输入信号人工短接，使用翻面检测功能，计算机能检测到信号时，证明问题在翻面控制开关上，根据情况做相应处理。检测不到信号首先检查线路，然后更换控制卡。

掩膜夹具翻转不稳定:

1、检查翻板的初始位置是否符合时机

2、检测翻面控制开关工作是否稳定，可用指针万用表跟踪监测。

3、检查翻转机构动作是否灵活可靠

4、检查翻面信号次数设置

5、检查旋转工作台是否与钟罩内壁有磨擦现象

6、检测旋转工作台在转动时的稳定性

在同一掩膜夹具频率散差大:

1. 检查晶片本身是否散差大

2. 检查膜层修正板位置是否变动,重新调节修正板

3．检查一下挡板在开、关时是否完全遮挡住钼舟

4．检查一下轰击环是否完遮挡住钼舟

5、检查钼舟使用是否符合要求，要采用圆形钼舟